[S2] S2 Multi-scale analysis of elementary processes in plasticity II(1)

11:30 AM - 11:55 AM JST(2:30 AM - 2:55 AM UTC)

[S2.3] 単結晶Siにおける塑性変形挙動解析

*Suzuki Tubasa¹, Morikawa Tatsuya², Tanaka Masaki², Okuyama Erumu³, Fujise Jun⁴, Ono Toshiaki⁴ (1. 九大工(院生)、2. 九大工、3. 木更津高専、4. (株)SUMCO)

Keywords:

Si,単結晶,塑性変形,引張試験,EBSD

結晶の加工硬化過程についての更なる理解のため，現在半導体分野で活躍している単結晶Siを用いて引張試験を行った．講演ではそれぞれの引張方位についてs-s曲線やEBSD観察をもとに考察を行う．