[S6] S6 Tailoring of Nano/Micro-Space for Advanced Functions II

2:45 PM - 3:05 PM JST(5:45 AM - 6:05 AM UTC)

[S6.12] 非平衡励起反応場による酸化亜鉛薄膜の非加熱形成

*SHIMOI Norihiro¹, TANAKA Shun-Ichiro¹ (1. 東北大)

Keywords:

酸化亜鉛,非平衡励起反応場,非加熱,透明導電膜,プラスチック基板

ボトムアップ型アーキテクチャーとしてプラズマ・電子線の非平衡励起反応場に着目し、酸化物粒子を構成する原子・分子集団を動かし非加熱かつシンプルなプロセスで薄膜型ナノコンポジット構造の創成技術を確立する。