Presentation Information
[P40]Optical electrical characteristic improvement by the addition of the metallic element to ZnO film and the film thickness change
*Takumi KOIDE1, Yuuri Yamasita2, Haruki Yamane4, Masanobu Kobayashi3 (1. Chiba Institute of Technology, 2. Chiba Institute of Technology, 3. Chiba Institute of Technology, 4. Akita industry technology center)
Keywords:
ZnO,透明酸化物半導体,透明電極
本研究ではITOの代替材料として注目されているZnOをベースに、遷移金属を添加、及び試料の膜厚変化による光学的・電気的性質の変化を検討することを目的とした。