Presentation Information
[P55]TiN deposits coating formed by plasma nitriding using Ti screens with various open hole state
*KOUDAI IMAMURA1, AKIO NISHIMOTO1 (1. Grad. Sch. Sci & Eng., Kansai Univ.)
Keywords:
窒化処理,表面改質処理,TiNコーティング,アクティブスクリーンプラズマ窒化,Tiスクリーン
窒化処理の一種であるアクティブスクリーンプラズマ窒化処理法は、試料を絶縁しその周りに設置したスクリーンからの堆積物により窒化を進行させる。本研究ではTiスクリーンを用いることで表面にTiNを形成させた。