[G] Solid process/ Solid and welding process

4:45 PM - 5:00 PM JST(7:45 AM - 8:00 AM UTC)

[326] Multilayer Anodic Bonding

*TAKAHASHI MAKOTO¹ (1. JWRI, Osaka University)

Keywords:

陽極接合,多層接合,陽極酸化,イオン電導,微細組織

導体を仲立ちとしたガラス同士の陽極接合継手にさらに別の導体を陽極接合するとき、２番目の接合のプロセスが最初の接合界面の劣化をもたらさないようにするための条件を明らかにした。