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2:30 PM - 2:45 PM JST(5:30 AM - 5:45 AM UTC)

[355]Investigation and discussion of substrates used for metallic glass Pre-Imprint process

*DATEKYU Masanari^1,3, YASHIRO Wataru², KATO Hidemi³ (1. 東北大工、2. 東北大多元研、3. 東北大金研)

金属ガラス,Imprint加工,Pre-Imprint処理

Pre-Imprint処理は一度過冷却液体領域まで加熱しないといけないため，熱履歴に大きな影響を受ける．本研究では，実際にPre-Imprint処理を行い，基板変化によるリボンの平坦/熱履歴/相状態を確認し評価を行った．