Presentation Information
[P106]Magnetism properties of the Co-Pt film which layered oxygen loss ZnO protective layer
*SAWAHATA Yuki1, Sugimura Tomoyuki2, Ymane Haruki3, Kobayashi Masanobu4 (1. 千葉工大(学生)、2. 千葉工大(院生)、3. 秋田産技セ、4. 千葉工大)
Keywords:
CoPt多層膜,酸素欠損ZnO,磁気特性,光学特性
CoPt磁性多層膜において、酸素欠損ZnOを下地層及び保護層に用いたCoPt/酸素欠損ZnO多層膜を作製し、保護層の有無、酸素欠損ZnO保護層成膜時の投入ガス変化(Arガス、Ar+5%O2ガス)による磁気特性の変化を比較した。