[P] P83~P89

10:40 AM - 12:10 PM JST(1:40 AM - 3:10 AM UTC)

[P86] Investigation of Si-DLC films by changing the source gas composition

*Ryo SAGAYAMA¹, Akio Akio² (1. 関西大理工（院生）、2. 関西大)

Keywords:

ダイヤモンドライクカーボン,Si-DLC,プラズマCVD,表面改質,トライボロジー

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）にSiを添加した、Si-DLCに関する研究を行った。原料ガス組成を変化させたことによる、密着性、摩擦摩耗特性をはじめとする各種特性の違いついて調査を行った。