Presentation Information

[S6.8]Effect of implantation order on nanostructure of Ag-Ni nano-composite in SiO2 synthesized by dual ion implantation

*Tomoko YAMADA1, Akihiro IWASE2,3, Toshiyuki MATSUI2, Masaki MAEKAWA4, Atsuo KAWASUSO4, Fuminobu HORI2 (1. Osaka Pref. Univ., 2. Osaka Pref. Univ., 3. WERC, 4. QST-Takasaki)

Keywords:

複合ナノ粒子,イオン照射,SiO2アモルファス,照射順序

SiO2へのAg及びNiイオンの照射順序を入れ替えて生成した粒子の微細構造解析を進めており,照射順序による違いとそれぞれの照射順での照射量に対する構造体の変化について解析した結果について報告する.