[P] P54~P56

1:00 PM - 2:30 PM JST(4:00 AM - 5:30 AM UTC)

[P54] Crystallization and doping of Ge thin films using AgSb catalyst

*Taichi KAMBAYASHI¹, Kentaro KYUNO² (1. Shibaura Institute of Technology(Master), 2. Shibaura Institute of Technology)

Keywords:

Ge薄膜,結晶化

AgSb合金を触媒として金属誘起結晶化法(MIC法)を利用してGeを結晶化させ，n型Ge薄膜の作製を試みた。触媒の酸化によりどのような変化が見られるか調べた。