[G] Surface, Interface, and Catalysts

2:05 PM - 2:20 PM JST(5:05 AM - 5:20 AM UTC)

[110] Microstructure and mechanical properties of metallic glass thin films including Ar nanoclusters formed by UBM sputtering

*Junpei KOBATA¹ (1. ORIST)

Keywords:

UBMスパッタ法,薄膜,金属ガラス,Ar,ナノインデンテーション

UBMスパッタ法によりArナノクラスターを含む含むTi-Cu基金属ガラス薄膜を形成した。成膜条件に依存して組織中に形成されるＡｒナノクラスターの大きさ等が変化し、変形挙動も大きく異なることが分かった。