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2:20 PM - 2:35 PM JST(5:20 AM - 5:35 AM UTC)

[111]Self-consistent Diffraction Stress Analysis for Measuring Stress and Composition of Alloy Films

*Takashi HARUMOTO¹, Ji SHI¹, Yoshio NAKAMURA¹ (1. Tokyo Institute of Technology)

応力測定,薄膜,弾性定数,X線回折,歪解析

合金薄膜の応力・組成を簡便に解析する新しい手法として、セルフコンシステントX 線応力測定法を提案し、その妥当性について調査した。その結果、簡易測定には十分に適当可能であると判明した。