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[148]Development of resistance change sensor worked by reduction/oxidation of metal oxides
*Yusaku Hayashi1, Mitsutoshi Ueda1, Kenichi Kawamura1, Eriko Irisawa2, Atsushi Komatsu2, Chiaki Kato2, Nariaki Okubo2 (1. Tokyo Tech, 2. Japan Atomic Energy Agency)
ADS中のLBEに溶存する酸素濃度を監視するシステムの確立が求められている. 本研究では, 金属酸化物薄膜の還元・酸化に伴う電気抵抗の変化を利用したセンサを検討し, 実際に作製して実験的に動作原理を確認した.
