Presentation Information
[335]Effect of bonding temperature on anodic bonding of borosilicate glasses using intermediate conductor layer
*MAKOTO TAKAHASHI1 (1. JWRI, Osaka University)
Keywords:
陽極接合,ホウケイ酸ガラス,陽極酸化,イオン伝導,接合温度
ホウケイ酸ガラスの低温陽極接合の可能性を探るため、アルミニウムを仲立ちとしたホウケイ酸ガラスの陽極接合を接合温度を変えて行い接合中にガラスを流れる電流と得られた接合界面の状態を観察した結果を報告する。