日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

Mar 7 - Mar 15, 2023東京大学 駒場Ⅰキャンパス
The Japan Institute of Metals and Materials
日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

Mar 7 - Mar 15, 2023東京大学 駒場Ⅰキャンパス

[P115]Existence states of Ar atoms introduced by different methods in metallic glass thin films

*Junpei KOBATA1(1. ORIST)
本発表では、UBMスパッタ法およびイオン照射によりTi-Cu基金属ガラス膜に導入したArの存在状態をX線吸収微細構造解析により調査した結果を報告する。