[P] P112~P121

4:30 PM - 6:00 PM JST(7:30 AM - 9:00 AM UTC)

[P115] Existence states of Ar atoms introduced by different methods in metallic glass thin films

*Junpei KOBATA¹ (1. ORIST)

Keywords:

UBMスパッタ法,金属ガラス,Ar,イオン注入,X線吸収微細構造解析

本発表では、UBMスパッタ法およびイオン照射によりTi-Cu基金属ガラス膜に導入したArの存在状態をX線吸収微細構造解析により調査した結果を報告する。