[P] P142~P151

4:30 PM - 6:00 PM JST(7:30 AM - 9:00 AM UTC)

[P143] Morphology Control of SiC Surface Ripple Structure by Ion Beam Irradiation

*Kenichiro Yoshiura¹, Naoto Oishi¹, Noriko Nitta² (1. Kochi University of Technology, 2. Kochi University of Technology)

Keywords:

SiC,リップル構造,イオンビーム照射,AI物体検出,FIB

イオンビーム照射を用いてSiC表面にスパッタリングによってリップル構造を作製した。またイオンビーム照射の重畳によってリップル構造を作製した。加えて、AIを用いた微小リップル構造の物体検出手法を検討した。