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[S4.6]Application of 3D microstructure characterization technique by FIB-SEM on MoSiBTiC alloys
*Toru HARA1, Yuka HARA1, Kyosuke YOSHIMI2, Naoyuki NOMURA2, Takahito OHMURA1 (1. NIMS, 2. 東北大工)
Keywords:
3D組織解析,MoSiBTiC合金,FIB-SEM
MoSiBTiC合金のバルクと微粒子の両方について、FIB-SEMシリアルセクショニングの手法を用いて三次元的に組織解析を行う手法を検討した。その技術的進展と実施例を紹介する。
