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[P24]Development of STM observation method for the interior of metal samples using electric field evaporation by APT

*Kaito UEDA1, Junnosuke Oishi1, Shu Kurokawa2 (1. Kyoto Univ., 2. Kyoto Univ.)

Keywords:

3次元アトムプローブ,STM

本研究ではアトムプローブトモグラフィー法(APT法)をナノスケールの元素分析および試料表面作製手法として使用し,走査トンネル顕微鏡(STM)にてAPT試料の高分解能観察を行う複合法の開発を行った.