Presentation Information
[P177]Fabrication of circular array Sm(Fe-Co)-B pattern and change in magnetic properties due to differences in diameter
*Shingo Ito1, Shoma Sato1, Shintaro Hatanaka, Masaaki Doi1, Toshiyuki Shima1 (1. Tohoku Gakuin University)
Keywords:
Coercivity,Microfabrication,Thin film,ThMn12-type structure
Sm(Fe0.8Co0.2)12-B薄膜の更なる保磁力向上を目的とし、Sm(Fe0.8Co0.2)12-B 薄膜のドット径を変化させて作製した配列パターンを微細加工法により形成し、ドット径の変化による磁気特性への影響を調査した。
