Presentation Information
[P195]Fabrication of Discrete Nanocolumnar InN Films by Glancing-angle Reactive Evaporation on ITO Surface with Microroughness
*Masaki Watanabe1, Yasushi Inoue1, Osamu Takai2 (1. Chiba Inst. Technol, 2. Kanto Gakuin Univ)
Keywords:
InN薄膜,ITO,蒸着法
窒化インジウムは，従来のEC材料と比較して，色変化の速度が速い．しかし，その速度を決定する要因が分かっていない。本研究では，基板として用いるITO表面凹凸を意図的に変化させ，EC特性に対する影響を調査した.