Presentation Information
[369]Effect of Bonding Temperature on Progress of Anodic Bonding
*MAKOTO TAKAHASHI1 (1. 阪大接合研)
Keywords:
陽極接合,接合温度,接合の進行,接合強さ,陽極酸化
陽極接合界面の強さの上昇に接合温度が与える影響を明らかにするため、ソーダライムガラス基板とその上に真空蒸着したアルミニウム層の接合を温度と接合時間を変えて行いアルミニウム層の密着強さの変化を観察した。