Presentation Information
[67]Investigation of methods for evaluating the thickness direction structural of nanogranular films by small angle X-ray scattering
*Takuto HASEGAWA1, Hanae AOKI3, Hiroshi MASUMOTO3, Masato OHNUMA2 (1. 北大(院生)、2. 北大、3. 東北大)
Keywords:
X線小角散乱法,ナノグラニュラー膜,光デバイス,タンデムスパッタリング,構造異方性
タンデムスパッタリングにより作製された、磁性体粒子が膜厚方向に異方的に分散したナノグラニュラー膜を、試料ホルダー内にスペーサーを設けることでX線入射角を変化させながらラボSAXS法により測定した。