Presentation Information
[P119]Improvement of Accuracy of Quantitative Analysis by Simultaneous Measurement of EDS and EELS in STEM
*Shunji Morimoto1, Takashi Nemoto1, Mitsutaka Haruta1 (1. Institute for Chemical Research, Kyoto University)
Keywords:
エネルギー分散型X線分光法,電子エネルギー損失分光法,定量分析,走査型透過電子顕微鏡
局所領域の元素の定量分析で、同時に取得したEDS法とEELS法を組み合わせることによって、従来の定量分析法よりも正確度が向上された。