Presentation Information
[P133]Surface hardening of commercial purity titanium using radio-frequency magnetron discharged He plasma
*Kazuha MARUYAMA1, Mitsuhiro Hirano2 (1. Kagawa Univ, 2. Kagawa Univ)
Keywords:
Ti,Heプラズマ,表面硬化,高周波マグネトロン放電
工業的汎用性の高い高周波マグネトロン放電を用いて発生させたHeグロー放電プラズマによりHeイオンならびに原子を注入し、Ti材料表面の硬化層形成に成功した。
