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[P133]Surface hardening of commercial purity titanium using radio-frequency magnetron discharged He plasma

*Kazuha MARUYAMA1, Mitsuhiro Hirano2 (1. Kagawa Univ, 2. Kagawa Univ)

Keywords:

Ti,Heプラズマ,表面硬化,高周波マグネトロン放電

工業的汎用性の高い高周波マグネトロン放電を用いて発生させたHeグロー放電プラズマによりHeイオンならびに原子を注入し、Ti材料表面の硬化層形成に成功した。