Presentation Information
[P12]Crystallization and electrical properties of Ge thin films by sputtering on Au thin films
*Yuki HOSHI1, Kentarou KYUNO1,2 (1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT International Research Center for Green Electronics)
Keywords:
半導体薄膜
本実験では、先にAu膜を形成した基板を加熱しながらGe膜を成膜することで層交換を起こす手法を試みた。この方法でGeを結晶化させて電気特性を調べることを目的とした。