Presentation Information
[P41]Microstructure and high-temperature hardness property of metallic glass films containing different rare gas elements.
*Junpei KOBATA1 (1. ORIST)
Keywords:
アンバランスドマグネトロンスパッタ法,金属ガラス,希ガス,微細組織,ナノインデンテーション法
UBMスパッタ法によりAr、NeおよびAr＋Neを含有した金属ガラス膜を作製し、膜の微細組織観察と高温硬さの評価を行った。