[P] P269~P297

[P294] PEEM analysis of anatase-type TiO2 thin films synthesized by solvothermal method

*Yusuke Fukui^1,5, Tsukasa Imura, Kosuke Ono^2,3, Yushi Sumida^1,5, Masaru Shimomura³, Takuo Ohkochi^4,5,6 (1. Grad. Sch. Eng., U. Hyogo, 2. Grad. Sch. Eng. Nagoya Univ., 3. Grad. Sch. Sci. Tech., Shizuoka Univ., 4. LASTI. U. Hyogo, 5. RIKEN SP8 Center, 6. JASRI)

Keywords:

光触媒,ソルボサーマル法,TiO₂,光電子顕微鏡（PEEM）

ソルボサーマル法で作製したアナターゼ型TiO₂薄膜における不純物(フッ素や窒素)影響を調べるため、XASとPEEMを用いて化学状態と元素分布を解析し、フッ素や窒素の空間分布や侵入深さについて議論した。