[P] P105~P109

[P107] Metal-Assisted Etching of n-Type Silicon Using Silver Nanoparticles ―Effect of Hydrogen Peroxide Concentration―

*Tatsuki HASHIGUCHI¹, Ayumu MATSUMOTO¹, Shinji YAE¹ (1. University of Hyogo)

Keywords:

多孔質シリコン,ウェットエッチング,貴金属ナノ粒子,置換析出

貴金属触媒を担持したシリコンを過酸化水素を含むフッ化水素酸水溶液に浸漬すると多孔質構造が形成される。本研究では、銀ナノ粒子を触媒としてn型シリコンのエッチングを行い、過酸化水素濃度の影響を調べた。