[P] P43~P49

[P43] Evaluation of Photocatalytic Activity of Nitrogen-Doped TiO₂ Sputtered Films
under Visible-Light Irradiation

*Sunyong Shim¹, Kyosuke Ueda², Takayuki Narushima² (1. Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. (M), 2. Graduate School of Engineering, Tohoku Univ.)

Keywords:

反応性スパッタリング法,TiO₂膜,光触媒,可視光応答化

酸素分圧と窒素分圧を変化させ、窒素添加TiO₂膜を作製した。アナターゼ単相窒素添加TiO₂膜では可視光照射に伴いメチルオレンジ濃度が減少し、可視光応答していることが確認された。