[G] Hydrogen and Battery Related Materials

2:00 PM - 2:15 PM JST(5:00 AM - 5:15 AM UTC)

[104] PdAu hydrogen detection layer for optical sensor elements

○Haruki Yamane¹, Koetsu Shindo¹, Hisato Shibata¹ (1. Akita Ind. Tech. Center)

Keywords:

Hydrogen sensor,PdAu

水素感応を有する光学積層膜で構成された光検知式水素センサにおいて、水素検知層として用いているＰｄＡｕ合金薄膜の成膜条件の違いが検知動作に与える影響について検討した。加熱成膜を行うことで水素遮断後の回復速度が向上することが分かった。ＰｄＡｕの微粒子化が一因であることを示唆する結果が得られた。