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[F1002S]産業支援のための広島県の電子顕微鏡(TEM・FIB),24年間の運用と観察事例紹介

*田辺 栄司1 (1. 広島県立総合技術研究所)

Keywords:

TEM,FIB,EELS,Tomography,TOF-SIMS