Presentation Information

[2P-258]spICP-MSによるフォトレジスト中の金属微粒子分析

○酒井 碧1、林 紘正1、坂口 晃一1 (1. (株)東レリサーチセンター)

Keywords:

シングルパーティクルICP-MS,ナノ粒子,レジスト