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[H3002]コアシェルナノ薄膜を用いるマイクロメートルオーダーの銅微粒子の高解像度検出

○Minami Funaki1, Yudai Nakamura1, Yukiko Takahashi1 (1. 長岡技科大)

Keywords:

コアシェルナノ薄膜,タッチテスト,色スポット検出,高解像度検出,金属微粒子汚染,銅微粒子