[16p-C43-1~12] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

1:00 PM - 1:15 PM JST(4:00 AM - 4:15 AM UTC)

[16p-C43-1] Direct Estimation of Complex Refractive Index in Spectroscopic Ellipsometry

〇Hitoshi Nakatani¹, Hirotaka Yabushita¹ (1.HORIBA, Ltd.)

Keywords:

ellipsometry,machine learning,thin film

分光エリプソメトリーは、薄膜の光学特性を非破壊で高精度・高感度に測定できる技術であるが、光学特性導出には複雑な解析が必要となる。機械学習による解析自動化が報告されているが、測定波長域が異なると同じモデルが使えないなどの制約がある。本報告では、波長ごとに光学特性を推定することで、測定波長域に依らず自動解析可能な手法を提案する。本手法をHfO₂膜の測定へ適用した結果、熟練者による推定とMSE=9.0×10^-4の精度で一致した。