[17p-C43-1~17] 1.6 Ultrasonics

4:30 PM - 4:45 PM JST(7:30 AM - 7:45 AM UTC)

[17p-C43-14] Analysis of Resonance Properties for SH₁ Mode Plate Waves on Thin LiTaO₃/LR-SiC Plate

〇Noriyuki Watanabe¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:

bulk acoustic wave,plate acoustic wave,Lithium tantalate

次世代通信システムには，高周波， 広帯域，高Qを有し，かつ耐高電力な弾性波RFフィルタが要求される．近年，接合技術および薄板化技術の進歩を踏まえ，薄板構造の様々な板波モードが研究され，その中でも高音速板波の利用が報告されている．しかし圧電基板の極薄板は非常に脆く製造上も耐久性も実用的ではない．そこで本報告では，周波数温度変動の小さいLiTaO₃と低抵抗SiCとの直接接合構造におけるSH₁モードによる高音速板波共振特性を検討した．