[18p-A33-1~19] 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics

3:30 PM - 3:45 PM JST(6:30 AM - 6:45 AM UTC)

[18p-A33-10] Verification of effective confinement of the plasmonic diffraction within the pixel
using trench Formation

〇Soh Uenoyama¹, Yusuke Yoshizawa¹, Kazunori Tanaka¹, Hiroyasu Fujiwara¹, Akiyoshi Watanabe¹, Nobukazu Teranishi², Atsushi Ono² (1.Hamamatsu Photonics K.K., 2.Shizuoka Univ.)

Keywords:

nanophotonics,plasmon,Diffraction

近赤外帯域は光感度領域での光吸収が弱く感度が低い課題が存在する。その課題を打破すべく我々はプラズモニック回折構造（周期や形状を適切に設計することで大きな角度の回折光をシリコン内に発生し光感度領域での実効的光路長を拡大し近赤外帯域の感度増強に寄与する）の研究を進めてきた。本発表ではプラズモニック回折構造のイメージセンサ化を目指し画素境界にトレンチを形成した際の回折光の閉じ込めについて報告する。