[18p-A37-1~11] 17.2 Graphene

3:00 PM - 3:15 PM JST(6:00 AM - 6:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[18p-A37-6] Structure Control and Analysis of Graphene by Photoemission-assisted Townsend Discharge Plasma

〇(B)Akito Fukuda¹, Haruhiro Naito¹, Hiroya Noda^1,2, Mahiro Koga¹, Tsubasa Demura¹, Hikaru Nishiyama¹, Masanori Shinohara³, Kazutoshi Takahashi⁴, Susumu Takabayashi¹ (1.NIT, Ariake College, 2.Kyushu Univ., 3.Fukuoka Univ., 4.Saga Univ.)

Keywords:

graphene,photoemission-assisted plasma

グラフェンは、sp²炭素のネットワークによる二次元単層物質である。高キャリア移動度やガスバリア性などの特異的な物性が注目されてきている。これら特性の評価と解析、さらなる改良、または新規物性を開拓するためには、その原子単位の修飾ならびに解析が求められる。しかしながら、単層物質であることから、既存の修飾法はグラフェンの特性を逆に劣化させたり、また構造全体を破壊したりする恐れがある。 我々は独自の光電子制御タウンゼント放電プラズマ(PATD)を用いて、低エネルギーイオン照射によるグラフェンの構造制御を検討してきた。PPATDは従来の暗流と呼ばれているタウンゼント放電の約10,000倍の電流値が得られるため、運動エネルギーを抑制したイオン照射が可能となる。このようにして、グラフェン構造を原子単位で操作することが可能となる。