[18p-P10-1~2] 15.5 Group IV crystals and alloys

[18p-P10-1] Growth of Vertically Oriented Ge Wires on Quartz Substrate by PECVD

〇Mihaeru Uematsu¹, Kobayashi Shin-ichi¹ (1.Tokyo Polytechnic Univ.)

Keywords:

Ge Wire,Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,Quartz Substrate

我々は絶縁基板上の低欠陥Ge成長の研究を進めており、石英ガラス基板上に垂直方向に配向するGeワイヤを、プラズマCVD法によるAuを触媒としたVLS法により実現した。講演では、石英ガラス基板上での垂直配向Geワイヤの形成機構について議論する。