[19a-A33-1~11] CS.4 Code-sharing Session of 3.10 & 3.11

11:15 AM - 11:30 AM JST(2:15 AM - 2:30 AM UTC)

[19a-A33-9] Evaluation of Thermophysical Properties of Micro Pillars and Holes by Laser Heterodyne Photothermal Displacement Method

〇Takahiro Iwakiri¹, Tomoki Harada¹, Satoshi Ishii², Tetsuo Ikari¹, Atsuhiko Fukuyama¹ (1.Univ. of Miyazaki, 2.NIMS)

Keywords:

photothermal conversion,microstructure,silicon

光熱変換効率の高い微細構造を作製することは、太陽熱蒸留や光学的PCR検査に大きく貢献する。本研究では、光熱変換効率を高めるために重要な光吸収率と熱伝導率を同時に制御しうる微細構造を作製し、光ヘテロダイン光熱変位法を用いてその構造が光熱変換に与える影響を明らかにした。その結果、微細構造を用いることで光熱変換効率を高めることができ、微細構造の高さも光熱変換効率に関係することがわかった。