[20a-A37-1~6] CS.3 Code-sharing Session of 3.4 & 3.13

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[20a-A37-3] Fabrication of Nano-Scale Thin Film Lithium Niobate Structures (II)

〇Shoji Hachuda¹, Ryoichi Yoshida¹, Toshihiko Baba¹ (1.Yokohama Nat'l Univ.)

Keywords:

Thin film LiNbO3,Fabrication,Ar-ICP etching

LiNbO₃ (LN) は大きな電気光学効果，非線形効果，圧電効果，広帯域での光学透明性などの特長を有する．薄膜LN（Thin film LN: TFLN) を利用すると，高い光閉じ込めによる効果の増大とデバイスの小型化が可能になるため，高性能な変調器や光コムデバイスなどが研究されている．今回はエッチング装置を変更し，より高レートのエッチングで初期的な光デバイスを製作した．