[20p-P02-1~29] 9 Applied Materials Science (Poster)

[20p-P02-29] Fabrication of MoS2 Nanotube Arrays Using Through Hole Anodic Aluminum Oxide Template and Evaluation of Humidity Respons

〇Shoichi Hirono¹, Tana Matsumura¹, Takeshi Ito¹, Shoso Shingubara¹, Tomohiro Shimizu¹ (1.Kansai Univ.)

Keywords:

MoS2,Anodic Alumintm Oxide

二硫化モリブデン(MoS₂)は, シート状の結晶構造を持ち, 化学的・熱的に安定であることが知られている。また, MoS₂の欠陥は湿度に対し電気的に敏感に応答するため、湿度センシングにおいて注目されている材料である。本研究では, MoS₂の湿度に対する応答性を向上させるため、スルーホール構造を持つ陽極酸化アルミナ(AAO)テンプレートを用い, 薄膜よりも大きな比表面積が得られるMoS₂ナノチューブを作製し湿度応答性を評価した。