[10a-PA4-1~26] 6.2 Carbon-based thin films

[10a-PA4-14] Analysis of iodine states in a-CN_x:H thin films doped with iodine

〇Haotian Pei¹, Masaaki Yamazato¹, Akira Higa¹ (1.Univ. of the Ryukyus)

Keywords:

iodine doping,amorphous carbon

ヨウ素ドーピングした水素化アモルファス窒化炭素薄膜(a-CNx:H薄膜)において、光学ギャップや電気抵抗率が減少することが報告されている。しかし膜中でヨウ素がどのような状態で存在しているかは明らかになっていない。そこで本研究では、UV-Visやラマン分光法によりヨウ素の状態解析を行った。その結果、膜中にはポリヨウ化物の存在が確認され、N/C比の異なる薄膜においてI₃^-とI₅^-の存在比率がほぼ変わらないことを確認された。