[8a-B11-1~13] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

12:15 PM - 12:30 PM JST(3:15 AM - 3:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8a-B11-13] ESR-Based Evaluation of Filler Orientation in Polyrotaxane/Plasma-Surface-Modified Hexagonal Boron Nitride Composites

〇(D)Rui Hasegawa^1,3, Kenichi Inoue², Tsuyohito Ito¹, Hitoshi Muneoka¹, Yusuke Yasuda¹, Kazuhiro Kirihara³, Yoshiki Shimizu³, Yukiya Hakuta³, Kenji Ishikawa², Masaru Hori², Kohzo Ito¹, Kazuo Terashima^1,3 (1.The Univ. of Tokyo, 2.Nagoya University, 3.National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST))

Keywords:

Plasma Surface Modification,Electron Spin Resonance,Composites

電子機器の高集積化等の理由により放熱が大きな問題となっており、hBNなどの二次元無機フィラーを電界で配向させた高熱伝導・高柔軟性複合材料が注目されている。本研究では、プラズマ表面改質を行ったフィラーを配向して作製したコンポジットの電子スピン共鳴（ESR）測定結果を解析し、ESRによるフィラー配向評価手法の有用性について検討した。