Presentation Information
[8p-PA1-2]High dynamic range thickness distribution measurement by on-axis double heterodyne interference
〇(M1)Taiki Tanaka1, Kotaro Kawai2 (1.Osaka Univ., 2.Kobe City College of Tech.)
Keywords:
optical interference,thickness measurement,heterodyne interference
本研究では，先行研究であるダブルヘテロダイン干渉法の実験的な検討及び実験的確立における問題を解決する光学系の提案を行う。ダブルヘテロダイン干渉法は実験的に確立されていない。そこで，4光束軸外ヘテロダイン干渉系による実験的な検証を行う。加えて，明らかとなった問題を解決する4光束同軸ヘテロダイン干渉による膜厚分布計測の理論を提案する。本発表では，実験的な検証結果及び提案する理論の概要を報告する。