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[8p-PA2-19]Conductive Sheet Model for Terahertz Magneto-Optical Spectroscopic Ellipsometry of Carrier-Doped Thin-Film Structures
〇Akihiro Okamoto1, Masaya Nagai1, Masaaki Ashida1 (1.Grad. Sch. Eng. Sci., The University of Osaka)
Keywords:
semiconductor,Ellipsometry,Terahertz
本講演では、THz波長に対して薄膜の厚さが十分に小さい場合に、薄膜内部の多重反射を、透過場によって誘起される基板上の表面電流として解釈することで、ドープ半導体基板上に薄膜が形成された構造における複素反射率を記述する。さらに、本モデルが有限膜厚を考慮した4×4行列法と整合することを示し、その有効性と応用可能性について議論する。