[9a-PB1-1~13] 6.6 Probe Microscopy

[9a-PB1-1] Investigations of Carrier Dynamics in Multi-layer Ceramic Capacitors Using Time-Resolved Kelvin-probe Force Microscopy

〇(M1)KOKI MAEKAWA¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:

Multi-Layer Ceramic Capacitor,Kelvin-Probe Force Microscopy

積層セラミックコンデンサ（MLCC）の絶縁劣化は、内部の電子や酸素空孔の分布偏りに伴う抵抗分布変化により生じると考えられる。本研究では、時間分解KFMにより、±2 V方形波印加時の表面電位分布の時間応答を室温・真空中で測定した。+1 V時と+2 V時のKFM像を比較した結果、単純な2倍とは異なり、電荷再分布が示唆された。当日は条件を変えた結果も示し、トラップ電子や酸素空孔のダイナミクスを議論する。