[9p-A11-1~11] 6.3 Oxide electronics

3:45 PM - 4:00 PM JST(6:45 AM - 7:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9p-A11-7] Highly Sensitive Gas Sensors Using Transition Metal-Doped MoO_x Nanorods withMetal-Organic Decomposition

〇Otoya Okanishi¹, Akihiro Katsura¹, Yukiko Hirose¹, Hinata Gohara¹, Ayato Miyazaki¹, Takao Ono², Naoka Nagamura³, Takafumi Uemura⁴, Tohru Sugahara¹ (1.Kyoto Inst. Tech., 2.The Univ. of Osaka, 3.NIMS, 4.SANKEN)

Keywords:

metal oxide semiconductor,Gas sensor

本研究では、溶液プロセスである有機金属分解法を用いて遷移金属を添加した酸化モリブデンナノロッドガスセンサを作製し、ガス応答特性を評価した。遷移金属を添加することで酸化モリブデンの表面形態が変化し、ガス応答特性も向上した。中でもMnを1～5%添加した試料は顕著な感度向上が得られ、測定したガス種の中で1-propanolに対して最も高い感度を示した。