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[9p-C214-13]Development of ultrathin stretchable wirings for ultrathin stretchable organic circuits

〇(DC)Chika Okuda1, Sunghoon Lee1, Takao Someya1, Tomoyuki Yokota1 (1.Univ. Tokyo)

Keywords:

ultrathin,stretchable,flexible

生体表面へ貼付可能なデバイスが盛んに研究されている中、極薄かつストレッチャブルな回路の実現が課題となっている。本発表では、約2 µmの極薄ゴム基板上の極薄伸縮性配線、および伸縮-非伸縮領域境界における配線について報告する。配線には約20 nmの金薄膜を用い、マイクロクラックの形成により80%歪みでも低抵抗を維持することが確認された。また、極薄ゴム基板を積層して応力緩和構造を作製し、伸縮-非伸縮領域境界で80%歪み印加時も断線が見られないことを確認した。