MMIJ 2023,Matsuyama

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Sep 12 - Sep 14, 2023Ehime University Johoku Campus
MMIJ Annual Meeting
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Sep 12 - Sep 14, 2023Ehime University Johoku Campus

[1101-08-03]Fundamental study on the fabrication process of titanium thin film

○Hidehiro Sekimoto1(1. Iwate University)
Chairperson: Koichi Hashimoto (JOGMEC)

Keywords:

Titanium,Molten salt,Interface reaction,Segregation

フッ化物系溶融塩と液体セリウムを温度1000 °C程度において静置すると、比重差によって上下に分離する。溶融塩にチタン塩を溶解すると、液体希土類金属によって還元され、一部はセリウムと合金化し、一部は金属チタンとして析出する。この時、チタンの比重は希土類金属と溶融塩の中間の大きさなので、2液体の界面で膜状に析出する。さらに、この系を徐冷すると、セリウムと合金化したチタンがセリウム表面で偏析し、厚膜化する。本研究では、このような現象を利用し、チタンを溶解することなく薄膜や薄板にするプロセスが実現できないか検討した。具体的には、種々の条件でLiF-TiF4系溶融塩と液体セリウムとの界面反応実験と、Ce-Ti合金からのTiの偏析実験を実施し、生成したチタン薄膜の厚みとの相関を調べた。