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[C-3_C-4-46](依頼講演30分)マイクロトランスファープリンティングによる異種材料集積シリコンフォトニクスデバイス
〇Toshiya Murai1, Rai Kooy1, Guangwei Cong1, Koji Yamada1 (1. National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST))
Keywords:
sllicon photonics,micro-transfer printing,heyterogeneous integration